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解決芯片封裝“離型不良”導(dǎo)致的批量性質(zhì)量事故

                                                 
一、 問題背景:突發(fā)的產(chǎn)線異常

2023年第二季度,國內(nèi)某知名半導(dǎo)體封測企業(yè)(下稱“A公司”)在其高端FC-BGA(倒裝芯片球柵陣列)封裝生產(chǎn)線上,連續(xù)出現(xiàn)多批次芯片貼裝不良。具體表現(xiàn)為:在芯片從晶圓載膜(Wafer Mounting Film)上拾?。―ie Pick)時,部分芯片出現(xiàn)黏連、角度偏移甚至崩缺,導(dǎo)致貼片機(jī)拋料率從正常水平的0.02%飆升至1.5%,嚴(yán)重影響了生產(chǎn)良率與交付周期。
初步排查排除了貼片機(jī)參數(shù)、芯片本身和環(huán)氧樹脂粘合劑(DAF)的問題。工程團(tuán)隊(duì)將懷疑焦點(diǎn)指向了晶圓切割貼膜后使用的關(guān)鍵輔助材料——離型膜(Release Film)。該薄膜在切割后臨時保護(hù)芯片,需要在拾取時被精準(zhǔn)、穩(wěn)定地剝離。
二、 診斷工具與方法:科學(xué)量化剝離性能
為驗(yàn)證假設(shè),A公司質(zhì)量部門引入了高精度離型膜剝離力試驗(yàn)機(jī),并設(shè)計(jì)了對比測試方案:

測試設(shè)備:采用配備恒溫平臺(精度±0.5℃)和90°剝離夾具的微力試驗(yàn)機(jī)(量程0-100N,分辨率0.001N)。
測試標(biāo)準(zhǔn):參考ASTM D3330(膠帶剝離測試方法)及內(nèi)部工藝規(guī)范。
樣本分組:
不良批次組:從出問題的生產(chǎn)批次中取樣。
歷史合格批次組:取用過去穩(wěn)定生產(chǎn)的批次留樣。
不同供應(yīng)商組:同步測試另兩家供應(yīng)商的同類產(chǎn)品。
測試條件:模擬實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境,在25℃ 和產(chǎn)線預(yù)熱溫度45℃ 下分別測試,剝離速度為300 mm/min。

三、 數(shù)據(jù)發(fā)現(xiàn)與根因分析
通過離型膜剝離力試驗(yàn)機(jī)生成的精密力-位移曲線,問題清晰地暴露出來:
剝離力絕對值異常:
正常批次在25℃下的平均剝離力為 35±3 gf/in。
問題批次的平均剝離力高達(dá) 85±15 gf/in,且數(shù)據(jù)離散度極大。
剝離力曲線形態(tài)異常(關(guān)鍵發(fā)現(xiàn)):
正常曲線:上升平滑,峰值穩(wěn)定,剝離過程均勻。
問題曲線:呈現(xiàn)劇烈的“鋸齒狀”波動,并伴有多個瞬時峰值(>120 gf/in)。這表明離型層涂布不均勻,存在局部“黏點(diǎn)”,導(dǎo)致剝離力瞬間激增。
溫度敏感性異常:
正常批次在45℃下剝離力穩(wěn)定下降至約28 gf/in,符合熱軟化規(guī)律。
問題批次在45℃下剝離力波動更大,部分點(diǎn)甚至出現(xiàn)異常升高,表明離型涂層配方不穩(wěn)定,受熱后性能劣化。
根因鎖定:離型膜供應(yīng)商為降低成本,更改了離型硅油涂布工藝并減少了固化劑比例,導(dǎo)致涂層交聯(lián)密度不足、分布不均。在高強(qiáng)度生產(chǎn)環(huán)境下,該缺陷被放大,造成剝離力失控。
四、 解決方案與效果驗(yàn)證
基于數(shù)據(jù),A公司采取了以下措施:
供應(yīng)商管控:立即切換合格供應(yīng)商,并在采購協(xié)議中新增基于離型膜剝離力試驗(yàn)機(jī)測試數(shù)據(jù)的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),明確要求:
平均剝離力范圍:30-40 gf/in。
剝離力波動系數(shù)(CV值)< 10%。
特定溫度下的剝離力穩(wěn)定性。
來料檢驗(yàn)強(qiáng)化:將剝離力測試設(shè)為關(guān)鍵來料(IQC)的全檢項(xiàng)目,每卷膜材均需在模擬工況下測試合格方可上線。
工藝參數(shù)優(yōu)化:根據(jù)新膜的穩(wěn)定剝離力數(shù)據(jù),微調(diào)了貼片機(jī)的拾取速度和高度參數(shù),使機(jī)械動作與材料特性完美匹配。
實(shí)施效果:
措施實(shí)施一周后,產(chǎn)線貼裝拋料率恢復(fù)至 0.01% 以下,優(yōu)于事故前水平。
通過對庫存舊批次膜的100%篩查,避免了超過 50,000片 晶圓的潛在損失,直接挽回經(jīng)濟(jì)損失預(yù)估達(dá) 2,000萬元。
建立了離型膜等關(guān)鍵輔助材料的量化質(zhì)量數(shù)據(jù)庫,為后續(xù)新材料導(dǎo)入和工藝窗口定義提供了科學(xué)依據(jù)。
五、 結(jié)論與啟示
本案例證明,在微電子封裝這樣的精密制造領(lǐng)域,離型膜剝離力試驗(yàn)機(jī)絕非簡單的質(zhì)檢工具,而是保障核心工藝穩(wěn)定性的“聽診器”。它通過將主觀的“好不好剝”轉(zhuǎn)化為客觀的“力值曲線”,實(shí)現(xiàn)了:
問題可追溯:快速定位材料端還是設(shè)備端問題。
質(zhì)量可量化:將供應(yīng)商管理和來料檢驗(yàn)從“經(jīng)驗(yàn)判斷”升級為“數(shù)據(jù)決策”。
風(fēng)險可預(yù)防:通過對材料性能的持續(xù)監(jiān)控,在批量性問題發(fā)生前提前預(yù)警。
對于任何依賴離型、貼合、剝離工藝的電子元器件制造(如FPC、觸摸屏、鋰電池極片等),建立一套基于精密剝離力測試的質(zhì)量控制體系,是邁向高端制造和零缺陷管理的必由之路。

 
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